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研究紹介

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ナノエレクトロニクスとは?

近頃は“ナノ”という言葉を、化粧品や美容器具など、良く見かけるようになりました。

“最先端の、ものすごく小さい”といったイメージで使われているようです。

ナノ”は桁を表す言葉で“1ナノメートル(nm)”は、1mの10億分の1に当たります。

DNAの直径が約2nm、シリコン原子の大きさが約0.1nmですから、原子や分子の大きさです。

ナノエレクトロニクスは、数~数10ナノメートルサイズまで微細化された集積回路などの電子材料、デバイス、システムに関する技術で、これからの産業や社会を支える基幹技術として期待されています。

研究室

研究室の目指すもの

ナノエレクトロニクス研究室では2006年のスタート以来、 低抵抗銅配線や超低抵抗グラフェン配線など、ナノテクノロジーを使った高性能材料の研究を通じて、電子機器の消費電力の低減や、電気機器の電力効率の向上を図り、持続可能な低炭素社会の実現(グリーンイノベーション)を目指しています。

現在の研究テーマ

研究室の現在の主な研究テーマは以下のとおりです。

① 超低抵抗グラフェン配線を目的とした、高品質グラフェン成長、キャリアドーピング、インテグレーション技術

② グラフェンキャップによる長期保存メモリ用の高信頼配線の研究

③ 電流ストレスを応用した高品質グラフェンの形成技術

④ グラフェンのパワーデバイス応用

その他に、AIを目指した人口シナプスの研究にも着手しています。また研究の基盤として、ナノ構造の研究に必要な物理解析(XPS, AFM, SEM, XRD, Ramanなど)を活用しています。

また企業や他大学とも協力して研究を進めています。

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