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研究紹介

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ナノエレクトロニクスとは?

近頃は“ナノ”という言葉を、化粧品や美容器具など、良く見かけるようになりました。

“最先端の、ものすごく小さい”といったイメージで使われているようです。

ナノ”は桁を表す言葉で“1ナノメートル(nm)”は、1mの10億分の1に当たります。

DNAの直径が約2nm、シリコン原子の大きさが約0.1nmですから、原子や分子の大きさです。

ナノエレクトロニクスは、ナノメートルサイズまで微細化された集積回路などの電子材料、デバイス、システムに関する技術で、これからの産業や社会を支える基幹技術として期待されています。

研究室

研究室の目指すもの

ナノエレクトロニクス研究室では2006年のスタート以来、 低抵抗銅配線や超低抵抗グラフェン配線など、ナノテクノロジーを使った高性能材料の開発を通じて、電子機器の消費電力の低減や、電気機器の電力効率の向上を図り、持続可能な低炭素社会の実現(グリーンイノベーション)を目指しています。

現在の研究テーマ

研究室の現在の主な研究テーマは以下のとおりです。

① 超低抵抗グラフェン配線を目的とした、高品質グラフェン成長、キャリアドーピング、インテグレーション技術
・・・経済産業省・NEDO「低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト」

② 無電解めっきによる銅配線用の超薄膜バリア膜とバリア信頼性評価

③ 銅めっき膜の高品質化と配線のエレクトロマイグレーション信頼性向上

④ めっきGeを用いた薄膜センサ ・・・科研費(分担研究者)

その他に、電気自動車などで使われるパワーインバータのエネルギー高効率化のための技術開発にも着手しています。また研究の基盤として、ナノ構造の研究に必要な物理解析(XPS, AFM, SEM, XRD, Ramanなど)を活用しています。

また企業や他大学とも協力して研究を進めています。

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